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MEMS氢气气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金……
MEMS气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧……
精讯畅通-一氧化碳传感器，自主研发，品类丰富，满足不同客户需求，采用高灵敏度的气体检测探头，信号稳……
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