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MEMS气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
测定参数： 气体
回路电压Vc：≤24V DC
加热电压VH：2.8V±0.1V AC or DC
负载电阻RL：可调
加热电阻RH：80Ω±20Ω（室温）
加热功耗PH：≤80mW
敏感体表面电阻Rs：1KΩ～30KΩ
灵敏度S：≥2.0
浓度斜率α：≤0.9
温度：20℃±2℃
湿度：55%RH±5%RH
标准测试电路：VH:2.8V±0.1V；Vc:5.0V±0.1V
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MEMS气体传感器利用MEMS工艺再SI基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。
测定参数： 气体
回路电压Vc：≤24V DC
加热电压VH：2.8V±0.1V AC or DC
负载电阻RL：可调
加热电阻RH：80Ω±20Ω（室温）
加热功耗PH：≤80mW
敏感体表面电阻Rs：1KΩ～30KΩ
灵敏度S：≥2.0
浓度斜率α：≤0.9
温度：20℃±2℃
湿度：55%RH±5%RH
标准测试电路：VH:2.8V±0.1V；Vc:5.0V±0.1V
